2.自身清潔度測試：設(shè)備在出廠前，已經(jīng)AC100亞沸酸蒸超凈清洗器采用純酸和超純水進行過多次清洗以及泄漏測試，但在設(shè)備運輸安裝過程中，設(shè)備的潔凈狀態(tài)可能會有所變化。因此在設(shè)備安裝后，需要做自身清潔度測試，具體方法是：不放任何微波消 解管進去，用純酸清洗至少三遍，每遍結(jié)束后從One-Way Vapor的排廢口取樣檢測，直至金屬雜質(zhì)含量達(dá)到要求。

    廢酸其實是酸蒸汽清洗過設(shè)備內(nèi)壁后冷凝而來的，即使已經(jīng)清洗過設(shè)備內(nèi)部，但金屬雜質(zhì)含量仍遠(yuǎn)低于原始濃硝酸，說明了2個問題：

    1)   清洗三遍后，設(shè)備內(nèi)部已經(jīng)基本潔凈；

    2)   通過亞沸蒸餾的方式，金屬雜質(zhì)都留在了酸液之中，所產(chǎn)生的蒸汽非常潔凈。